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六氟化硫氣體是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。1947年提供商用。

當前SF6氣體主要用于電力工業中。SF6氣體用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅弧；SF6斷路器及GIS（在這里指六氟化硫封閉式組合電器，國際上稱為“氣體絕緣開關設備”（Gas Insulated Switchgear））、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設備。

SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰，因此在交流電弧電流過零時，SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多，其滅弧能力約為空氣的100倍。

六氟化硫氣體的化學式是SF6。

生產方法

1、直接合成法：

A、經凈化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反應生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。經水洗、堿洗除去絕大部分雜質氣體，再經熱解爐分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后經堿洗進一步除去雜質，凈化后的SF6氣體經硅膠及分子篩干燥器干燥后，制得六氟化硫產品。

B、將硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反應制備六氟化硫。還可以金屬氧化物為催化劑于300℃下用空氣氧化四氟化硫，或者在500～2000℃使氟化硫熱解。

2、以長約300mm直徑25mm的鎳管為反應器，將盛有硫粉的鎳舟置于其中，反應管與一石英阱連接，石英阱以液態氧冷卻。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連，以隔離空氣中的濕氣。硫在氟氣流中燃燒，生成的產物凝聚在冷阱中。隨后進行純化，使產物氣化并通過10%的KOH熱溶液（不用NaOH）洗滌除去其中的雜質（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用P4O10干燥產物氣體，并在室溫下通過活性炭除去S2F10。

3、使SO2在過量的F2中燃燒可生成SF6。反應溫度約650℃，產物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要雜質是SO2F2。純化時將其通過裝有水和熱的10%KOH溶液的洗滌瓶，最后用P4O10干燥。

4、元素氟和硫直接反應法。

A、直接電解法：將硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃六氟化硫，電壓為7～20V。電解產物應除去雜質;

B、催化氧化法：金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化四氟化硫，該法缺點是收率過低。

C、熱解法：在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。

D、氟化鈷法：將硫磺或其他硫化物在三氟化鈷和二氯化鈷存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。二氧化硫與氟燃燒法。

E、聯產法：氯氟代甲烷和六氟化硫聯產，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯產。

物理特性

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃六氟化硫，常壓下升華點溫度為-63.8℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。

化學特性

常溫下是一種惰性氣體。一般不會與其它材料發生反應。

電氣特性

絕緣性能佳，還具有獨特的熱特性和電特性。SF6氣體是電負性氣體，其分子和原子具有很強的吸附自由電子的能力，可以大量吸附弧隙中的自由電子，生成負離子。負離子的運動比自由電子慢得多，很容易和正離子復合成中性的分子和原子，大大加快了電流過零時的弧隙介質強度的恢復。

分解特性

純凈的SF6氣體一般公認是無毒的。SF6在生產過程中會有少量伴隨的生成物，其中S2F10是公認的劇毒氣體，但經過凈化處理可以完全將它除凈。純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。SF6氣體通過對流能與空氣混合新型氣體報警器，但速度很慢。氣體一旦混合后就形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。問題嚴重的是，電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。

1、SF4(四氟化硫)

常溫下SF4為無色的氣體六氟化硫，有類似SO2的刺鼻氣味，在空氣中能與水分生成煙霧，產生SOF2和HF。SF4氣體可用堿液或活性氧化鋁(Al2O3)吸收。SF4氣體對肺有侵害作用，影響呼吸系統，其毒性與光氣相當。

2、S2F2(氟化硫)

常溫下為無色氣體，有毒，有刺鼻氣味，遇水分能完全水解形成S，SO2和HF。S2F2對呼吸系統有類似光氣的破壞作用。

3、SF2(二氟化硫)

SF2的化學性能極不穩定，受熱后性能更加活潑，易水解成S，SO2和HF 。SF2氣體可用堿液或活性氧化鋁吸收。

4、SOF2(氟化亞硫酰)

SOF2為無色氣體，有臭雞蛋味，化學性能穩定。它與水分反應緩促，并能快速地為活性氧化鋁或活性炭吸附。SOF2為劇毒氣體．可造成嚴重的肺水腫，使動物窒息死亡。

5、SO2F2 (二氟化硫酰)

SO2F2為無色無臭氣體，化學性能極為穩定voc氣體檢測儀，加熱到150 °C時也不會與水和金屬反應。SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。SO2F2是一種能導致痙攣的有毒氣體。它的危險性在于無刺鼻性嗅味且不會對服鼻粘膜造成刺激作用，故發現中毒后往往會迅速死亡。

6、SOF4(四氟亞硫酰)

SOF4為無色氣體，有刺鼻性氣味，能被堿液吸收，與水反應會生成SO2F2。SOF4是有害氣體，對肺部有侵害作用。

7、HF(氫氟酸)

HF是酸中腐蝕性最強的物質。對皮膚、粘膜有強烈刺激作用，并可引起肺水腫和肺炎等。

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